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西安交大主导研制的纳米台阶样板获批国家一级标准物质

发布时间:2019-12-25

12月9日,国家市场监督管理总局批准了西安交通大学主导研制的四种规格纳米台阶高度标准物质为一级标准物质(编号:GBW13975、GBW13976、GBW13977、GBW13978)。这是目前国内尺度最小的纳米台阶标准物质样,填补了国内亚50nm台阶高度标准物质的空白,实现了替代进口,提高了我国在纳米几何量计量领域的核心竞争力和整体技术水平。

在机械制造系统工程国家重点实验室和电子陶瓷与器件教育部重点实验室的通力合作下,西安交通大学蔣庄德院士团队经过二十多年的研究,在国际上首次提出了基于原子层沉积(ALD)的纳米台阶样板制备方法,实现了台阶高度亚埃米(?)量级的精确控制。成功采用ALD技术制备了公称高度为5nm、10nm、20nm、40nm的单台阶样板,并由中国计量科学研究院完成了定值、均匀性、稳定性检验。4种规格的纳米台阶高度样板可溯源到国家米定义波长基准,定值结果可靠,同时具有良好的均匀性和稳定性,可实现对台阶仪、原子力显微镜、轮廓仪等测量仪器的校准,并应用于微电子集成电路与国防军工、先进制造、生物医药等重点产业。

国家标准物质是经过国家级单位认证具有最高计量品质,用基准方法确定量值的标准物质,是用于校准测量器具,评价测量方法或确定材料特性量值的物质。国家标准物质的应用是有严格的国家标准和国际标准规定的,每种标准物质都有相应的标准物质证书。

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